Device里面设置掺杂的junction width是什么意思

孙老师,您好,我想问问Device里面设置掺杂的junction width是什么意思,看了一下英文解释不是很明白,在仿真的时候这个值怎么取?

这个值是指由扩散的情况下,由均匀掺杂到背景掺杂过渡的几何宽度。以高斯型函数为例,这个junction width(过渡部分)越大,掺杂有最大值到最小值的过渡越缓慢(纵坐标代表掺杂的浓度)。

这个数值怎么取?一般应该根据实验条件决定。否则,也可以测试几个不同的数值,看看对结果影响是否大,如果影响大,那就要想法得到与实验一致的数值。特别是如果对PN结有要求,可能需要用准确的数值。

孙老师,在DEVICE中掺杂的时候浓度是指退火之前的浓度还是退火之后的浓度呢?如果是退火过后的浓度那么ref concentration是不是指背景掺杂浓度呢?

ref concentration就是指背景掺杂浓度;
至于第一个问题,我认为是退火之后的浓度,因为仿真的是器件,如果退火后浓度有变化,那么用退火前的掺杂就没有意义了。