10月28日北京时间网络研讨会预告:缺陷探测与光学检测技术


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北京时间:2016年10月28日星期五早上8点
内容介绍:光学检测技术正在持续不断地发展以满足器件尺寸日以缩小的需求,而光学检测系统设计师必须掌握精确仿真纳米尺度结构与光相互作用的方法。为此,Lumerical 与半导体制造工业合作开发出一种解决方案,可以有效地捕作大量可能的光照明和光收集方式中光与物质的相互作用。由此设计师可以为其光学检测仪器高效率地寻找最佳的设置,以捕作纳米级三维器件中产生微弱散射的微小缺陷。
在这个研讨会中,我们将介绍包含两个步骤的仿真方法,可以将器件级(用FDTD Solutions仿真)和系统级光与结构相互作用区分开。此方法可以提供足够高的灵敏度来探测微弱散射:微小缺陷产生的散射可能比镜面反射弱几个甚至10个量级。

感兴趣者请点击这里注册,参加者可以有机会现场提问相关问题。如果知道不能参加庆不要注册,一个月内我们将视频上传至优酷。

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